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ESDP變螺距干式螺桿真空泵

- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump

ESDP干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線,，動(dòng)力節(jié)省30%，排氣溫度低,，工藝穩(wěn)定,，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝,，也維持了z u i 佳的真空效率和耐用性,。ESDP系列不使用油和水,，用可變壓縮方式操作,，水蒸氣和液態(tài)混合工藝,，非常適合干燥,，溶劑回收，化工,，制藥,，塑料等各種真空工藝。

特點(diǎn)

■ ESDP干式螺桿真空泵優(yōu)點(diǎn)及特征

1.吸入效率(提升15%),。

2.排氣效率改善(2級(jí)可變,，連續(xù)可變頻率)。

3.極限壓力：1*10-2Torr(托),。

4.排氣溫度降低50%,。

5.電力消耗減少30%。

6.不使用油和水,，不會(huì)造成油和水的污染,。

7.低功耗,、低噪音、低振動(dòng),，動(dòng)平衡好,，沒(méi)有慣性力，可高速運(yùn)行,。

8.設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，易保養(yǎng)，維修費(fèi)用低,，壽命長(zhǎng),。

9.適用范圍廣，具有高真空性能,。

10.使用壽命長(zhǎng),，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層(部分工藝可選用特種材質(zhì)解決腐蝕問(wèn)題),。

11.唇型密封和機(jī)械密封等多種密封方式,，滿足不同的工藝應(yīng)用。

12.前后采用稀有潤(rùn)滑方式,，提高軸承耐用性,。

　　■ ESDP干式螺桿真空泵概述

　　極限壓力完全無(wú)油無(wú)水

　　ESDP干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動(dòng)力節(jié)省30%,，排氣溫度低,，工藝穩(wěn)定,，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝,，也維持了**佳的真空效率和耐用性。

　　ESDP系列不使用油和水,，用可變壓縮方式操作,，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥,，溶劑回收,，化工，制藥,，塑料等各種真空工藝,。

典型應(yīng)用

　　■ ESDP干式螺桿泵的應(yīng)用范圍

　　●ESDP系列在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中,。此工藝要求返流為0，以保護(hù)工件免受污染,。

　　● 在石油化工中,，主要是抽取可凝性氣體,，或有毒氣體，或腐蝕性氣體,，或含有微塵的氣體,。

　　●制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥,，藥物中間體回收,，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無(wú)菌條件等,。

　　●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

　　●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

　　●擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝

　　●混合樹(shù)脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,，及噴射器中的阻塞物

　　●食品行業(yè)用于香料,、香精濃縮，食品包裝等,。

　　■ ESDP干式螺桿真空泵技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	抽氣量	極限壓力	電機(jī)功率	轉(zhuǎn)速	進(jìn)氣	排氣	冷卻水量	噪聲	重量
型號(hào)	M3/h	Pa	KW	rpm	mm	mm	L/min	dB	Kg
ESDP320	260	5	7.5	2900	65	50	10	80	320
ESDP430	360	5	11	2900	65	50	12	80	380
ESDP650	540	5	15	2900	80	65	12	80	580
ESDP900	750	5	18.5	2900	100	65	20	80	680
ESDP1500	1200	5	37	2900	125	80	30	80	950