選用真空泵時,，需要注意下列事項：

1,、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇真空泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級,。

2,、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而,，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

3,、真空泵在其工作壓強下,，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部體量。

4,、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣，因而,，有時選用一種泵不能滿足 抽氣要求,，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速,，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下工作,，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣 壓,，需要前級泵,，故都需要把泵組合起來使用。

5,、真空設備對油污染的要求,。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵,，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵,、低溫泵等。如果要求不嚴格,，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施，如加冷阱,、障板,、擋油阱等，也能達到清潔真空要求,。

6,、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等,。選擇真空泵時,，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,，如冷凝器、除塵器等,。

7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外,。

8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9,、當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或 排氣壓力較高,，單級泵往往不能滿足,，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上,，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)羅茨真空機組作為抽真空裝置,。

10、如果只作真空泵用,，則選用單作用泵比較好,。因為單作用泵的構造簡單，容易制造和維護,，且在高真空情況下抗汽蝕性好,。

11、如果僅作較大氣量的壓縮機使用,，則選用雙作用的泵比較合適,。因為雙作用泵的氣量大，體積小,，重量輕,，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,，泵的使用壽命較長,。

12、真空泵的價格,、運轉及維修費用,。

參考來源：百度文庫