中國(guó)的各種真空泵,，目前發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油的耐腐蝕的要求,。因此,，近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大,，真空泵已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面，大量的有油真空系統(tǒng)已經(jīng)越來(lái)越多的被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替,。

干式螺桿真空泵圖片

第一,，2018年的干式螺桿真空泵現(xiàn)狀

國(guó)外幾乎每一家較大的真空泵公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,，是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,，以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦,、壽命長(zhǎng),、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)占據(jù)市場(chǎng),，但其制造技術(shù)大部分為國(guó)外掌握,，我國(guó)尚處于起步階段，市場(chǎng)對(duì)于干式泵有迫切的需求,。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體,、制藥,、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備。日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上,，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線并投入市場(chǎng),。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線,，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究,。

螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問(wèn)題

干式螺桿泵的結(jié)構(gòu)：螺桿真空泵結(jié)構(gòu)主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體,、冷卻循環(huán)和密封材料構(gòu)成,。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子,，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,，同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑,。軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類(lèi)似,。一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上,，目前通用的是直連電機(jī),，用連軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者鏈傳動(dòng),。

等螺距螺桿泵由于無(wú)內(nèi)壓縮過(guò)程,，排氣溫度非常高(110度左右)，如果冷卻效果不好,，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形,，影響抽泣效果，所以冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是最常見(jiàn)的方法,。在機(jī)殼本體,，軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的,。萊寶公司在轉(zhuǎn)子內(nèi)部通水冷卻,，增加轉(zhuǎn)子壽命，并達(dá)到很好的冷卻效果,。但是該種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(兩段式),，需要一定的技術(shù)及加工水平支撐。

用水冷有時(shí)不能達(dá)到冷卻效果,，因而通常在靠近排氣端轉(zhuǎn)子附近通冷卻氣體(多為氮?dú)??，F(xiàn)在國(guó)外的主流螺桿真空泵都采用這種方法。這種方法有幾個(gè)好處：第一,，能冷卻轉(zhuǎn)子的機(jī)殼,，降低排氣溫度;第二，當(dāng)氣體內(nèi)含有顆粒物時(shí),，能防止顆粒物沉積或者發(fā)生化學(xué)反應(yīng)引起爆炸,。

第二、國(guó)內(nèi)外主要生產(chǎn)公司概況

(1)塔海爾公司的KDP,、SDV系列螺桿真空泵,。塔海爾公司收購(gòu)了凱尼真空公司。凱尼是美國(guó)歷史上最悠久的從事真空獲得設(shè)備的專(zhuān)業(yè)制造公司,，在螺桿真空泵制造方面也是處于世界領(lǐng)先地位,。KDP系列為等螺距轉(zhuǎn)子的真空泵，SDV為變螺距螺桿泵,，二者均為水冷系統(tǒng),，風(fēng)冷系統(tǒng)可選擇。SDV是在KDP基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn),，變螺距螺桿泵能實(shí)現(xiàn)氣體內(nèi)部壓縮,，使排氣溫度降低，同比等螺距節(jié)能30%,。在轉(zhuǎn)子上采用NiFlon涂層,，即第一層為Ni，第二層為PFA,。即使PFA磨損了,，Ni層也能實(shí)現(xiàn)防腐蝕，同時(shí)采用Kalrez全氟化橡膠密封圈,。SDV系列是凱尼公司主推的螺桿真空泵,。

(2)德國(guó)萊寶公司在2002年底正式推出的SREWTINE系列螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵，它是一種全新的設(shè)計(jì)，是專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問(wèn)題,。如粉塵,、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,，有內(nèi)壓縮過(guò)程,，泵腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部閥門(mén)，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng),，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，因此螺桿壽命延長(zhǎng),。

(3)德國(guó)普旭公司的COBRAN系列螺桿泵,，是制造工藝最理想的真空泵，特別適用于化工和制藥行業(yè)的各工藝流程,。普旭是世界上最大的真空泵,、鼓風(fēng)機(jī)和壓縮機(jī)的供應(yīng)商之一，真空泵的質(zhì)量較高,，相比其他廠家,，在歐洲市場(chǎng)占有率極高，價(jià)格偏貴,。

(4)德國(guó)里奇樂(lè)的VSA/VSB系列,。VSA為等螺距轉(zhuǎn)子，市場(chǎng)評(píng)價(jià)較好,，性能穩(wěn)定,。VSB系列事變螺距轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)(非線型齒形設(shè)計(jì))，同其他幾家一樣,，通過(guò)內(nèi)壓縮來(lái)改變泵的功耗和排氣溫度,，不用兩級(jí)壓縮中間冷卻,，單級(jí)即可實(shí)現(xiàn)很高的真空度,。在密封件上作了改進(jìn)，靜態(tài)密封元件優(yōu)選PTFE或者添加有PTFE的密封件,，動(dòng)態(tài)密封元件在真空泵吸入側(cè)用雙密封唇,，真空泵排氣側(cè)用簡(jiǎn)單的帶有防止氣體外溢的密封圈，以防固體物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi),。

(5)日本的幾個(gè)生產(chǎn)商,。日本是應(yīng)用螺桿真空泵非常多的國(guó)家，半導(dǎo)體和LCD行業(yè)應(yīng)用廣泛,，大晃株式會(huì)社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉(zhuǎn)子方面申請(qǐng)了專(zhuān)利,，在轉(zhuǎn)子上作了深入的研究。日立公司早期也作過(guò)螺桿泵方面的研究。

研究瞻望：干式螺桿真空泵國(guó)內(nèi)的研究還處在起始階段,，很多技術(shù)難題還沒(méi)有解決,。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)，降低排氣口的溫度,，增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問(wèn)題仍然很棘手,，當(dāng)抽取一些活潑氣體時(shí)，由于排氣溫度高,，安全性也是需要設(shè)計(jì)中考慮的,，用在需要控制音量的場(chǎng)合，如何降噪也要成為研究方向,，但其優(yōu)越的性能決定了它一定會(huì)在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位,，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機(jī)在行業(yè)內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。

第三,、煙臺(tái)沃爾姆干式螺桿真空泵,，朔造國(guó)產(chǎn)干式螺桿泵品牌

煙臺(tái)沃爾姆真空技術(shù)有限公司，1998年-1999年創(chuàng)業(yè)煙臺(tái)福山地區(qū)的生產(chǎn)加工真空泵廠家,，主要以生產(chǎn)水環(huán)泵為主,。(參考：煙臺(tái)沃爾姆的發(fā)展歷程) 2002年，擴(kuò)大規(guī)模才正式注冊(cè)為現(xiàn)在的公司名稱,，2006年再次擴(kuò)大規(guī)模建立了新廠區(qū),。公司實(shí)力雄厚，隨著規(guī)模逐漸擴(kuò)大,，生產(chǎn)的水環(huán)泵質(zhì)量過(guò)硬,，良好的口碑和信譽(yù)深得廣大新老客戶的信賴，也慢慢的成就了沃爾姆品牌,。2009年,，開(kāi)始生產(chǎn)羅茨泵。2012年,，干式螺桿真空泵開(kāi)始投放市場(chǎng),。公司非常看重干泵的未來(lái)前景,，加大力度對(duì)干式螺桿泵的研發(fā),。目前已經(jīng)獲得了多項(xiàng)專(zhuān)利。(參考：煙臺(tái)沃爾姆的榮譽(yù)資質(zhì))目前,，干式螺桿真空泵方面的技術(shù),，相比較同行而言，已經(jīng)是很成熟的,，這些年來(lái)經(jīng)驗(yàn)也是越來(lái)越豐富了,，逐漸的朔造國(guó)產(chǎn)干式螺桿泵品牌,。煙臺(tái)沃爾姆聯(lián)系電話：0535-2135735 ，歡迎全國(guó)各地的新老客戶來(lái)廠考察參觀,、技術(shù)交流,、合作洽談!

2018年8月23-25日，已參加了在上海新國(guó)際博覽中心舉辦的CPVF 2018第十屆上海國(guó)際化工泵,、閥門(mén)及展覽會(huì),，展會(huì)舉辦的很成功，得到了同行和廣大新老客戶的認(rèn)可,。

2018年6月20-22日,在上海新國(guó)際博覽中心舉辦的“第十八屆世界制藥原料中國(guó)展”,，煙臺(tái)沃爾姆將會(huì)攜帶著我們的干式螺桿真空泵和螺桿羅茨機(jī)組亮相，歡迎各方新老客戶蒞臨參觀!

總結(jié)：干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,，主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過(guò)程 , 真空度極高,，可適應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性,、含顆粒物氣體的能力,，特別適 宜于 潔凈環(huán)境，且易做防腐處理,，特別適用于電 子,，化工，生物醫(yī)藥,，金屬加工,，食品加工等領(lǐng)域。隨著越來(lái)越多的企業(yè)中,，正在使用的真空泵,，逐漸被干式螺桿真空泵所替代。在各行各業(yè)的真空泵應(yīng)用領(lǐng)域里,，干式螺桿泵逐漸占據(jù)霸主地位,。未來(lái)的真空泵前景，無(wú)疑會(huì)是進(jìn)入干泵時(shí)代,。

參考源資料：

干式螺桿真空泵 百度百科

知乎 https://www.zhihu.com/question/266026256